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除水站外，該廠還有另幾套高純水制造系統(tǒng)，RO除使用復(fù)合膜元件外，還有使用CA醋酸纖維素膜元件。工業(yè)廢水處理給大家講講：
三、微電子工廠純水站使用膜技術(shù)實(shí)況
現(xiàn)以某微電子工廠中的某一純水站使用膜技術(shù)的實(shí)況，說明膜技術(shù)在電子工業(yè)純水制造中的應(yīng)用。其純水制造系統(tǒng)工藝流程見圖1。
1.前級UF
前級UF是用于去除水中的懸濁物、膠體及有機(jī)物，降低水的SDI值，確保RO的安全運(yùn)行。前級UF有5組，每組45根組件，共225根組件，進(jìn)水280m3/h，透過水250 m3/h，濃縮水排放，回收率約90%。UF組件為美國Romicon公司生產(chǎn)，型號HF-BZ-20-PM80，組件直徑5in，長43in，內(nèi)壓式中空纖維膜，纖維直徑20mil（0.51mm），共有2940根纖維，膜面積132ft2，膜材料為PS（聚砜），截留分子量8萬。UF前采用5μm保安過濾器。
2.一級RO
水中加入還原劑Na2SO3（加藥量為水中余氯值的1.8倍）以防止余氯氧化腐蝕RO膜，加入防垢劑（NaPO3）6（加藥量為5ppm）以防止CaCO3、CaSO4等在RO膜上結(jié)垢，再經(jīng)5μm 保安過濾器后由高壓泵打進(jìn)一級RO。一級RO有4組，均為二段。其中三組為每組8根膜容器，呈（5+3）排列，第4組為11根膜容器，呈（8+3）排列，膜容器由FRP（玻璃鋼）制成，每根內(nèi)裝6個(gè)RO元件，總共為210個(gè)RO元件，進(jìn)水250m3/h，透過水188m3/h，濃縮水排放，回收率為75%，脫鹽率＞90%（初始脫鹽率＞99%），操作壓力1.55Mpa。RO元件為美國HYDRANAUTICS(海德能)公司生產(chǎn)，型號CPA3。元件直徑8in，長40in，卷式膜，膜面積400ft2，膜材料為芳香聚酰胺復(fù)合膜，元件脫鹽率≥99.5%。
3.二級RO
一級RO水箱出水中一部分進(jìn)入A系統(tǒng)，先加NaOH（CP級）調(diào)節(jié)pH為8.2-8.6，使水中CO2生成HCO3-，被二級RO除去，以減輕混床離子交換的負(fù)擔(dān)，采用二級RO可以使混床再生周期延長一倍，減少再生酸堿耗量，并可進(jìn)一步去除TOC和膠體物質(zhì)。二級RO前采用3μm保安過濾器，二級RO為一組三段，共10根膜容器，按（6+3+1）排列，每根容器內(nèi)裝6只RO元件，共60只RO元件，進(jìn)水70m3/h，出水62m3/h，濃水排至超濾水箱，回收率為90%，脫鹽率＞70%(初始脫鹽率＞80%)，RO元件的生產(chǎn)廠、型號與一級RO相同。
4.后級UF
后級UF是用于去除水中的微粒、微生物、膠體、有機(jī)物等的終端過濾設(shè)備。
A系統(tǒng)后級UF為3組，每組18支，共54支組件，進(jìn)水92 m3/h，出水90 m3/h，濃水排至一級RO水箱，回收率約98%。UF組件為美國Romicon公司生產(chǎn)，型號HF-132-20-PM10，組件直徑5in，長43in，內(nèi)壓式中空纖維膜，纖維直徑20mil(0.51mm)，共有2940根纖維，膜面積132ft2，膜材料為PS（聚砜），截留分子量1萬。
B系統(tǒng)后級UF為8組，每組9支，共72支組件，進(jìn)水168 m3/h，出水164 m3/h，回收率約98%，UF組件制造廠及型號與A系統(tǒng)后級UF相同。
C系統(tǒng)后級UF有3支組件，進(jìn)水4 m3/h，出水3.9 m3/h，回收率約98%，UF元件為美國HYDRANAUTICS公司生產(chǎn)，型號4040-FTV-2120，組件直徑3.94in，長40in，卷式膜，膜面積55ft2，膜材料為聚烯烴，截留分子量5萬。
5.微濾
本系統(tǒng)的微濾可分為三類，第一類為前級UF、RO前的保安過濾器，用于去除水中的懸濁物微粒，降低水的SDI值，濾芯為PP（聚丙烯）膜摺迭式濾芯，孔徑為5μm或3μm。第二類在離子交換后，用于濾除離子交換樹脂碎片，濾芯為PP膜摺迭式濾芯，孔徑為1μm。第三類在UV殺菌器后，用于濾除微生物尸體，濾芯為N-6（尼龍6）膜摺迭式濾芯，孔徑為0.45μm或0.2μm。以上濾芯均為核工業(yè)部第八研究所生產(chǎn)。
